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API激光干涉儀是實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境中的高精度測(cè)量解決方案，專(zhuān)為長(zhǎng)度、角度和直線(xiàn)度測(cè)量設(shè)計(jì)，精度可達(dá)納米級(jí)，滿(mǎn)足光學(xué)元件、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的超精密需求。該設(shè)備基于激光干涉原理，通過(guò)檢測(cè)光程差變化，實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，在短距離內(nèi)（如1米）精度優(yōu)于±0.1微米，確保微米級(jí)工件的精度。其核心特點(diǎn)包括：
高分辨率與穩(wěn)定性：采用波長(zhǎng)級(jí)測(cè)量技術(shù)，對(duì)微小位移敏感，適用于校準(zhǔn)精密機(jī)床和光學(xué)系統(tǒng)。
環(huán)境適應(yīng)性：內(nèi)置溫度補(bǔ)償和減震設(shè)計(jì)，減少空氣擾動(dòng)和振動(dòng)影響，保證數(shù)據(jù)一致性。
多功能應(yīng)用：支持一維至三維測(cè)量，如評(píng)估光學(xué)鏡面平整度或半導(dǎo)體晶圓定位，提升產(chǎn)品良率。
在實(shí)踐場(chǎng)景中，API激光干涉儀成為研發(fā)和質(zhì)量控制的基石。例如，在半導(dǎo)體制造中，它用于校準(zhǔn)光刻機(jī)，確保芯片圖案的精確復(fù)制；在科研領(lǐng)域，則助力光學(xué)實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證理論模型。其自動(dòng)化數(shù)據(jù)采集功能簡(jiǎn)化操作流程，推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級(jí)。
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